199 1447 8851
SiC/GaN/IGBT 动静态参数与晶圆级测试
三海 SH 系列半导体测试系统：自主研发功率器件动态/静态参数测试系统、半导体参数分析系统与晶圆探针测试方案，覆盖 SiC/GaN/IGBT 器件与芯片的实验室及产线测试。
SMU/CVU/PMU多单元组合，I-V、C-V、脉冲特性一站式表征，适配实验室与产线。
应对12"/8"/6"晶圆Si/GaN/SiC器件性能测试，可升级大功率、射频与全自动测试。
自动完成击穿电压、阈值电压、导通电阻、漏电流、结电容等静态参数分选。
MCU、存储芯片、电源管理IC的功能、时序、电气特性与老化测试。
